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洁净度的检测应符合下列规定: U;3t{~Ym 1、应使用采样量大于1 l/min光学粒子计数器,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的鉴定合格证书。 V(kK2az 2、最少采样点应按下式计算: $MvKwQ/ NL=A0.5 bCP2_h3* 式中: &p#PYs|H NL——最少采样点; Mh3.GpS A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。 PO5,lcBD< 采样点应均匀分布在洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度。 kj|Oj+& 3、每一采样点的每次采样量应按下式确定: \
P6 ! Vs=(20/Cn,m)×100 i<m)
s$u 式中: _b>z'4_' Vs——每个采样点的每次采样量,以l表示,当Vs很大时,可使用顺序采样法。每个采样点的最小采样时间为1min,采样量应至少为2l; r=.@APZB Cn,m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(p/m³)。 +uF}mZS^ 20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(颗)。 q8ZxeMqx% 4、当洁净室区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。 O*+HK1q7 a(IE8:yU` 关于最少采样点: R%LFFMVn 最少采样点等于洁净室面积的0.5次方,就是面积的平方根,我们可以借助Excel来计算,新建一个Excel工作表,表A1为洁净室面积,表B1为测点数计算结果,在表B2中输入“=POWER(A2,0.5)”,就是计算表A2中的数值的0.5次方,如下图所示: yLqhj7 F+VNrt- 按以上步骤设置好后我们在A2中输入洁净室面积为5000㎡,那么B2得出的结果就是洁净室的最少采样点“71”点,也就是说在单个面积为5000㎡的洁净室中,其最少采样点应为71个。 ga KZ4#
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