|
|
洁净度的检测应符合下列规定: :ka^ztXG 1、应使用采样量大于1 l/min光学粒子计数器,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的鉴定合格证书。 \`R8s_S 2、最少采样点应按下式计算: GQDW}b8 NL=A0.5 {'yr)(:2M 式中: vQy+^deW NL——最少采样点; QypUBf A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。 RO[6PlrRN 采样点应均匀分布在洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度。 '<xV]k|v 3、每一采样点的每次采样量应按下式确定: ^w_\D? Vs=(20/Cn,m)×100 Y(=A HmR 式中: g0#w
4rGF) Vs——每个采样点的每次采样量,以l表示,当Vs很大时,可使用顺序采样法。每个采样点的最小采样时间为1min,采样量应至少为2l; Mk}*ze0% Cn,m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(p/m³)。 R# ZO<g%' 20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(颗)。 sQn@:Gk 4、当洁净室区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。 DB(!*6#? p#
|}
o9 关于最少采样点: /rHlFl|Wy 最少采样点等于洁净室面积的0.5次方,就是面积的平方根,我们可以借助Excel来计算,新建一个Excel工作表,表A1为洁净室面积,表B1为测点数计算结果,在表B2中输入“=POWER(A2,0.5)”,就是计算表A2中的数值的0.5次方,如下图所示: (XEJd4r cp6I]#X 按以上步骤设置好后我们在A2中输入洁净室面积为5000㎡,那么B2得出的结果就是洁净室的最少采样点“71”点,也就是说在单个面积为5000㎡的洁净室中,其最少采样点应为71个。 t\-|J SZ
|